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首先轮廓测量仪按照工作原理分为接触式轮廓仪(触针式)和光学3D表面轮廓仪(白光干涉仪)。
1 、接触式轮廓仪是测量轮廓形状及表面粗糙度的一体机 ,具备分析测量轮廓形状和表面租糙度的强大功能,实现尺寸、形状、粗糙度三个要素的精准测量。
工作原理测量原理为直角坐标测量法,即通过X轴 、Z轴传感器,测绘出被测零件的表面轮廓的坐标点 ,通过电器组件,将传感器所测量的坐标点数据传输到上位PC机,软件对所采集的原始坐标数据进行数学运算处理 ,标注所需的工程测量项目 。
产品特点
接触式轮廓仪主要是来测工件测长宽高尺寸、角度、直径、半径等零件轮廓尺寸的测量,还可以进行一些形位公差的评定。测量量程大 、精度高。SJ5730具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围,测试轴承内外侧 ,是大曲面测量(轴承、人工关节、精密模具 、齿轮、叶片、轴承滚子)领域精细粗糙度测量的利器。
应用
接触式轮廓仪可广泛应用于精密机械加工 、汽车、轴承、机床 、模具、精密五金等行业, 用于测量各种零件的直线度、倾斜度 、角度处理、圆度处理、双沟处理、双圆弧处理等机械零件表面微观几何结构和宏观几何形状的参数 。
2 、光学3D表面轮廓仪主要是用于产品微观形貌测量,主要是测微观粗糙度,精度一般是亚微米和纳级别的。能够非接触式快速测量精密零部件之重点部位表面粗糙度、微小形貌轮廓及尺寸。
工作原理光学3D表面轮廓仪是利用光学干涉原理研制开发的超精细表面轮廓测量仪器 。照明光束经半反半透分光镜分成两束光 ,分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光再次通过分光镜后合成一束光,并由成像系统在CCD相机感光面形成两个叠加的像。由于两束光相互干涉,在CCD相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹 。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差 ,根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条文出现的位置解析出被测样品的相对高度。
产品特点
光学3D表面轮廓仪具有测量精度高、操作便捷 、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点,测量单个精细器件的过程用时短,确保了高款率检测。SuperViewW1特殊光源模式,可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量 。
(3)应用
光学3D表面轮廓仪专用于超精密加工领域 ,广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件 、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件 、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中,测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面,从纳米到微米级别工件的粗糙度 、平整度、微观几何轮廓、曲率等。
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